作為為全球半導體生產商、太陽能和電子工業提供精確儀器和先進氣體與液體解決方案的技術領先商,Celerity公司宣布,該公司面向市場推出新型GF100系列質量流量控制器(MFC)。該產品旨在精確測量、監控和控制半導體設備及太陽能電池生產工藝中的超純度工藝氣體化學反應。該新型Celerity GF100系列質量流量控制器是一個可高度配置的平臺,具有Celerity第二代專有的壓力瞬變不敏感型流量技術,可以改善工藝控制、降低擁有成本,并消除存貨管理的復雜性。
該新型Celerity GF100系列質量流量控制器產品系列具有諸多重要優勢,包括高精確度、可重復的氣體測量、先進的數字架構進行的控制、為實現最大工藝靈活性和最優化對氣體和流量范圍進行原位電子再配置、壓力瞬變不敏感型流量技術設計(顯著減少了高純度氣體輸送系統的成本和體積)、以及便于自己進行簡單、有效的維護工作的嵌入式智能診斷、維修端口和軟件。
Celerity公司銷售與市場營銷部高級副主席David Somo表示:“Celerity公司一直是先進數字超高純度質量流量控制器方面市場領先供應商,也是壓力臨時不敏感型MFCs產品領先供應商。通過結合公司在氣體流量控制方面的豐富經驗,該GF100系列 持續改善我們市場領先的質量流量控制器精度,為客戶提供無間隙RoHS兼容升級功能。”