由西安交通大學(xué)承擔(dān)的國家863計劃項目??耐高溫壓力傳感器有效解決了我國石油化工、航空航天、汽車工業(yè)等領(lǐng)域高溫環(huán)境下壓力測量的技術(shù)難題，具有很高的推廣和使用價值。 據(jù)西安交大精密工程研究所教授蔣莊德介紹，由他率領(lǐng)的課題組經(jīng)過4年研究，研制成功的硅隔離耐高溫微型壓力傳感器，能在－30℃～250℃環(huán)境下完成1000MPa以下任意量程范圍的壓力測量，能承受2000℃瞬時高溫沖擊。 由教育部近日組織的科技成果鑒定認為，該項目屬國內(nèi)首創(chuàng)，傳感器性能指標(biāo)和總體水平達到國際先進水平，在敏感元件集成設(shè)計和傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計等方面達到國際領(lǐng)先水平。 專家認為，該產(chǎn)品采用高能氧離子注入技術(shù)制作二氧化硅隔離層，將檢測電路與基底隔開，避免了高溫環(huán)境下檢測電路與基底之間的漏電問題，解決了常規(guī)硅壓力傳感器120℃失效的技術(shù)難題；該產(chǎn)品將被測高溫流體與硅敏感元件相隔離，避免了被測流體的瞬時高溫沖擊，解決了2000℃瞬時高溫沖擊的難題；采用鈦－鉑－金耐高溫布線系統(tǒng)，解決了高溫等惡劣環(huán)境下傳感器引線的技術(shù)難題。 目前，該傳感器經(jīng)航空618研究所、航天210所及西安宏邦石油儀器有限責(zé)任公司等單位試用表明，產(chǎn)品成本低、性能穩(wěn)定可靠、工藝兼容性好、體積小、靈敏度高，不僅在靜態(tài)精度、耐高溫工作能力及動態(tài)響應(yīng)能力等技術(shù)指標(biāo)上可與國外同類先進產(chǎn)品媲美，而且在耐瞬時高溫沖擊、工作量程等性能指標(biāo)上有獨到之處，有效解決了長期困擾企業(yè)的高溫環(huán)境下壓力測量的難題。 據(jù)了解，國內(nèi)各領(lǐng)域?qū)δ透邷貕毫鞲衅鞯哪晷枨罂偭考s為4萬只，并隨著國民經(jīng)濟和國防現(xiàn)代化的發(fā)展，每年以10％～32％的速率遞增。而長期以來，我國耐高溫壓力傳感器產(chǎn)品主要依賴進口。因此，該產(chǎn)品的市場前景十分廣闊。