中國石化石油勘探開發研究院南京石油物探研究所與中科院上海微系統所緊密合作，經過一年多的努力，目前試制成功以國產mems加速度傳感器為核心的三分量地震勘探檢波器。經過室內檢測，該儀器各項性能指標均符合設計要求。 該所承擔的國家863計劃項目??“面向典型行業的mems加速度傳感器應用研究”，是用國產的mems加速度傳感器制造而成的地震勘探數字檢波器。最近，南京所在四川達州進行了三分量檢波器的野外試驗。通過試驗，對獲取的數據進行了分析，對發現的問題給予了糾正。近期，他們準備再做一 次三分量檢波器的野外試驗，使“面向典型行業的mems加速度傳感器應用研究”達到野外設計要求。