隨著納米科學和納米技術的進步，人們已經不滿足于掃描物體表面，而是把目光投向探究生物有機體的內部深層結構和物質的結構，從而得以分析出其組成成分?同時，也促進了電子學、電磁學、光學和化學等學科的進步。 為了測量形態、構成、磁力、偏振或化學成分等方面納米層次的內部變化，X光顯微鏡不僅可以補充電子顯微鏡的不足，而且具有更多的優勢。位于美國能源部勞倫斯伯克利國家實驗室高級光源的XM－1型X光顯微鏡，使用明亮的光束一“軟”X光制得的圖像不僅顯示出了結構，而且可以分析鑒定出它們的化學元素，并同時測量它們的電磁特性和其他性質。 現在一種新型的在納米層級上創造光學設備的方法使得伯克利實驗室X光光學中心（CXRO）的研究人員可以建造和操作XM－1型X光顯微鏡來獲得超高分辨率的圖像，甚至可以超過15納米的精度，同時研究人員在近期之內可以取得更高分辨率，伯克利實驗室材料科學小組的晁偉倫（音譯）說，我們的這項新技術使得超小三維結構的裝配成為可能。我們相信這是通過電子束平版印刷術實現微型裝配技術上一大突破。