中科院光機電領域產業化項目為自主創新加油 (2005-12-08)
發布時間:2007-12-04
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11月24日,“北京工業技術支撐與產業促進平臺”舉行了首場的產業化項目對接會??光機電領域專場。中科院光電研究院的專家重點推介了醫療用準分子激光器、FOB光學系列光學生物傳感器、大氣污染光學監測技術等有巨大應用前景的產業化項目,并針對企業感興趣的15個光電領域項目與參會的企業代表進行零距離的對接交流。目前已初步確定8家企業對15個項目的合作意向。
為科技產業化搭建廣闊的舞臺
“過去是引進消化吸收國外先進技術和先進管理經驗。如今,我們已經邁入了強化企業的自主創新能力的階段”。北京市工業促進局局長程連元介紹說,隨著中國和國際上技術先進國家技術差距的縮短,發達國家尤其是跨國公司對技術交流和轉讓越來越持保守態度。在市場經濟條件下,技術的領先是最基本的競爭手段。
北京作為我國技術人才最密集的區域,理所當然地應在實現國家戰略構想中發揮特殊的作用。北京的大專院所擁有非常豐富的科技和人才資源,如何利用好這種資源是我們目前面臨的嚴峻課題。
一系列的產業化項目對接會將會加速高新技術的產業化,加強中科院和企業之間的聯系,一方面解決企業生產實踐中的技術難題,并以此為切入點密切和企業地聯系,另一方面把中科院已有的能代表國家先進技術水平的技術盡快地在北京率先實現產業化。前一階段的自動化所的實踐證明這種合作模式是成功的,確確實實以企業的實際需求為導向,組織了各院所的力量為企業的技術難題開展工作,堅定了北京市政府繼續堅持這種合作模式的決心。產業化項目對接會強化了企業和中科院的聯系;另一方面為中科院各個單位施展自己的才華提供了廣闊的舞臺。
為光機電技術的產業化獻計獻策
“光電研究院是中國科學院高技術發展的一面旗幟,把中科院在光電領域的技術力量在統一的規劃和籌募下集合成一個整體,擴大了中科院的戰略優勢,使中科院在國家大的工程任務中能夠做出更多的貢獻”,中科院光電研究院副院長李傳榮在會上介紹說,光機電領域的技術能夠轉化為產品的種類很多,近年來,民用光機電技術的產業化受到極大的重視。從今年4月份開始,院地合作局、中科院北京分院北京分院和北京市工業促進局組織了光電研究院及其下屬各單位,精心收集整理了50個具有產業化前景的技術成果,并從中認真篩選出了在今天的專場對接會上向企業重點推介的15個項目,涵蓋了中科院有很大的技術優勢的光電傳感,環境監測等眾多領域。企業考慮的兩大因素是成本和可靠性,希望這次對接能碰撞出火花,使技術真正轉化為符合市場需要的有較高技術含量的產品,為首都工業發展做出貢獻。
北京騰飛擁有得天獨厚的資源
“中科院光電研究院精心收集整理了50多個具有產業化前景的技術成果,向京儀控股集團等數十家北京企業發布,并重點推介了其中15個代表國家光機電領域尖端技術水平的項目”。中科院北京國家技術轉移中心主任喬均錄在會上介紹說,通過此平臺,中科院科研成果與北京工業實現了對接,加速了科研成果的轉化及產業化。今后,將組織策劃一系列不同領域的產業化項目專場對接會。
自2005年4月22日“北京工業技術支撐與產業促進平臺”成立以來,先后組織中科院的12個研究所的近百名(次)技術專家(包括2位院士),深入到10多家企業,了解企業的真正需求,北京工業技術支撐與產業促進平臺多次組織了大批企業家和科學家進行雙向交流,雙方都有相見恨晚的感覺。例如,有一次平臺組織中科院過程所、力學所、理化所去燕化實地考察。燕化是北京市非常重要的一個名牌企業,經濟總量在北京市每年的GDP中占有很大的比重,但是在生產過程中也遇到很多技術難題。燕化花費了很長時間在網絡上和文獻中尋找解決的辦法,但實際成效不大。以前中科院和燕化接觸并不多,這次的交流使燕化發現中科院的研究所有幾個比較成熟的技術項目正好能對癥下藥。又如過程所的張鎖江博士,三年前從日本帶回國的一個很好的項目卻不知道向哪里轉移,而需要這種技術的燕化卻不知道去哪里尋找。所以說北京工業技術支撐與產業促進平臺在技術成果轉化和產業化的過程中起到了非常重要的中介橋梁作用。
中科院在全國共有89個單位,地處北京的就有45個,北京地區各院所的中科院院士的人數是全國的四分之一,研究的學科也非常齊全。總之,中科院北京分院擁有非常豐富的科技資源和人才資源,研發實力雄厚,同時也非常重視和北京市的各大企業的合作,盡可能把中科院更多的科研成果留在北京,為北京市的經濟騰飛提供源源不絕的動力和強大的技術支撐。
這次舉辦的光機電領域產業化項目對接會是科研成果與企業直接對接的嘗試的開始,中科院北京國家技術轉移中心和北京市經委經濟技術市場發展中心合作建立的這個平臺,今后將組織策劃一系列不同領域的有較強針對性的產業化項目專場對接會,進一步推動中科院科研成果與北京工業對接,加速科研成果轉化及產業化,提升北京工業自主創新能力及整體競爭力。
常壓低溫等離子體系列清洗設備
隨著PC升級活動增加,數碼相機、平板電視、DVD錄音機以及其他數字產品市場需求旺盛,2003年,全球清洗設備的總體市場為10億美元。隨著半導體加工線寬越來越精細,清洗在整個半導體制造過程中也越來越重要,另外在其他相關行業比如分立器件、電力電子器件、MEMS、高頻頻率器件、TFT-LCD、LED、PDP、VFD、太陽能電池、敏感器件、CCD、光纖通信器件、光盤等采用或部分采用半導體生產工藝的生產線,也將會大量使用清洗工藝技術。
中科院光電研究所研制成功的常壓低溫等離子體系列清洗設備主要有三種:APPJ常壓輝光低溫等離子體噴槍設備;目前國外沒有的APUP輝光低溫等離子體光刻膠清洗設備;目前國外沒有的APPT輝光低溫等離子體通道表面改性和清洗設備。常壓低溫等離子體系列清洗設備可用于光刻膠清洗、印刷線路板殘余物清洗、孔殘余物清洗、芯片粘接表面活化,表面交聯、封裝、高分子材料及醫療領域。設備需求如果以10%的速度增長,2008年市場需求將超過150億元人民幣。生產的產品按占全球清洗設備市場的1/150計算,預計銷售將超過1億元人民幣,年利潤將超過3700萬元人民幣。
APPJ常壓輝光低溫等離子體噴槍設備需要投資150萬元,預計市場銷售價格為20萬元人民幣/臺,按每年銷售100臺計算,產值將達到2000千萬元,獲得利潤700萬元。APUP輝光低溫等離子體光刻膠清洗設備需要投資600萬元,預計市場銷售價格為200萬元人民幣/臺,按每年銷售20臺計算,年產值將達到4000千萬元,獲得利潤1500萬元。APPT輝光低溫等離子體通道表面改性和清洗設備需要投資600萬元,預計市場銷售價格為200萬元人民幣/臺,按每年銷售20臺計算,年產值將達到4000千萬元,獲得利潤1500萬元。 (推薦項目單位:中國科學院光電研究院)
環境光學監測技術
我國制定了生態與環境科技戰略目標,即到2010年在GDP翻一番的情況下,為遏制生態和環境質量繼續惡化提供科技支撐,要建立較完整的生態環境觀測/監測網絡體系,正確闡明和預測我國生態與環境以及區域環境演變的趨勢.,初步具備解決重大生態與環境問題的自主創新能力,開發一批生態恢復與重建、有毒有害污染物控制的關鍵技術。
北京市政府去年提出綠色GDP的概念,以解決快速城市化、快速工業化和農業現代化所帶來的能源資源消耗和生態環境問題。中國大氣成分觀測系統應當首先關注具吸收效應的溫室氣體和某些具有類似效果的氣溶膠組分。但是由于缺少先進的監測技術和監測手段,我國依賴于國外技術和儀器的局面沒有明顯改觀,欠缺原創性基礎研究和系統綜合研究,缺少具有自主知識產權的技術集成和環保成套設備。
在這種強烈需求的背景下,中國科學院環境光學與技術重點實驗室、中國科學院安徽光機所開展了光學、光譜學與環境科學的交叉集成創新研究,開拓了我國環境光學新領域,形成了具有鮮明特色的環境光學與技術研究方向。
傳統的化學監測技術有很多缺點,取樣耗時、費力,不能獲得區域信息和空間信息。而先進的光學監測技術適用于大尺度的現場實時監測,目前唯一能從衛星平臺上獲取全球污染信息,基本原理是利用空氣中的污染成分對從紅外到紫外的不同波段的光譜的吸收特征來定量分析。每種污染物都有特定的吸收光譜,就像人的指紋一樣可以鑒定識別。
區域環境的大氣復合污染是我國經濟發展過程中出現的新的復雜環境問題,這是發達國家未曾經歷過的污染現象,國際上也沒有成功的經驗可資借鑒。為了有效控制我國城市群區域大氣復合污染和改善空氣質量,通過技術創新和系統集成,中科院環境光學與技術重點實驗室和安徽光機所重點研究和開發大氣復合污染區域監測、數值模擬和決策支持的關鍵技術,“十五”期間形成了一整套的環境光學的技術開發與實驗的平臺體系,根據不同的技術指標,采取不同的技術路線,建立了大氣、水體污染物光譜數據庫和數值解析模型。技術成果產業化已取得一定的成績,和安徽省某企業合作創立了一家公司,注冊資本為3500萬元,第一年銷售額為5000萬元,并且以每年大約2000萬元的速度在增長。
中科院環境光學與技術重點實驗室和安徽光機所推薦了幾項技術成熟、產業化前景良好的科技成果,均通過了科技成果鑒定,達到了國際先進水平。
主要有基于TDLAS技術的溫室氣體在線監測技術與系統,采用激光光譜方法測量大氣中CH4、CO2的濃度,用于測量城市、農村、稻田中CH4和CO2的排放濃度的監測,為環境監測部門建立和完成空氣監測站點,以及氣體部門監測大氣成分變換服務。
非分散紅外CO/CH4自動監測儀,利用與采樣氣體濾波相關的非分散紅外光譜技術測量大氣中CO和CH4的濃度,用于城市空氣質量監測子站中CO和CH4的測量的監測,主要用于環境監測部門和氣象部門的布點應用。
大氣顆粒物震蕩檢測天平,利用震蕩天平原理精確測量顆粒物的質量濃度,粒譜分析儀通過飛行時間原理,測量0.5~10um顆粒物的粒譜分布,主要應用于氣象部門布點和與大氣、環境有關的科研。
顆粒物監測激光雷達系統,通過Mie散射激光雷達測量大氣顆粒物的消光系數,并通過實際測量的氣溶膠顆粒物動力學粒譜分布和光學粒徑分布,通過兩種譜分布之間的關系結合消光系數直接給出顆粒物質量濃度的時空間分布,白天的探測距離為5公里,夜間為7公里,距離分辨為30米。
國家環保總局計劃在“十一五”啟動溫室氣體(CH4、CO2、CO)的監測,首先選擇在有條件的城市空氣質量監測站點增加溫室氣體儀器;地縣級城市需要配備對稻田排放CH4進行流動監測的能力。中科院環境光學與技術重點實驗室和安徽光機所研發的具有自主知識產權的溫室氣體監測儀器,性能價格比遠遠高于國外進口設備,產業化后能極大地滿足國家的經濟發展戰略需要和市場需求,具有可觀的經濟效益。估計年需求儀器200臺套以上,潛在的國內市場銷售額為2000萬~3000萬元,而且需求量以每年15%的速度在增長。
我國大部分地區對顆粒物質量濃度監測的需求強勁,許多經濟欠發達地區的空氣質量監測站點設備落后,已有的城市空氣質量監測站點儀器需要更新。估計年需求大氣顆粒物監測儀器300臺套以上,潛在的國內市場銷售額為3000萬~5000萬元,需求量以每年20%的速度在增長。
限制激光雷達作為常規監測手段的主要因素是價格,如果中科院研發的大氣顆粒物監測激光雷達系統以不超過50萬元的價格在市場上供應,國內已經建立的400多個城市空氣質量監測站,以及氣象沙塵暴監測網、環保部門大氣背景監測站點等都將是潛在的用戶,估計國內市場容量為2億~3億元。
光學生物傳感器
21世紀是生命科學的世紀,隨著人類生活水平的提高,人類將以前所未有的努力去追求“延年益壽”,但是工業技術的發展、生態環境的惡化、人類活動范圍的擴展、國際間頻繁交流等因素,在不同程度上催化了傳染病的大規模流行與暴發。生物制劑與爆炸物恐怖襲擊的威脅不斷傳出,食品安全問題也日益危及人類的健康。所有這些表明,人類生存的危機在加劇,我們需要可靠的監測和檢測手段,這給光學生物傳感器的發展帶來了機遇。
光學生物傳感器的基本原理是運用光學手段,將生物分子之間微觀的特異性反應以可定量檢測的光學信號表現出來,通過分析生物反應引起的光學信號變化,來檢測目標物屬性與含量。光學生物傳感器是生物檢測領域最重要的一類生物傳感器,比起其它的生物傳感器,它的優點是靈敏度高、速度快、非接觸、可進行多通道檢測等等。它在生物與爆炸物反恐、口岸檢驗檢疫、環境監測、臨床診斷、生物醫學研究、食品安全等檢測領域有廣泛的應用。
光學生物傳感器的一大類是光纖生物傳感器,它的光學傳感原理是以光纖倏逝波激發纖芯表面倏逝波范圍內由生物反應結合到表面的目標分析物(目標分析物或檢測試劑帶有熒光標記)。特點是可進行現場(或實時)檢測等。在國外,只有美國海軍實驗室開發成功RAPTOR和Analyte 2000光纖生物傳感器,且已商品化;1998年NRL把Analyte 2000作為無人駕駛小飛機的有效載荷進行了空中生化戰劑的監測實驗,獲得滿意的效果。在1991年的海灣戰爭中,美軍就裝備了光纖生物傳感器。
另一大類是上轉換磷光(UPT)生物傳感器,它是利用以上轉換磷光顆粒(~400nm)作為生物標記物(980nm紅外光激發,發射541.5nm磷光)的免疫層析分析技術。特點是性能穩定(樣品可多次重復檢測)、可定量、可多重分析。
20世紀90年代末,美國國防部DARPA計劃對UPT生物傳感器極為重視,委托SRI International、Science & Technology Corp.和OraSure Technologies三家公司研制手持式UPT生物傳感器,配備單兵。據悉,研制成功的樣機尚處于性能測試和考核階段,尚未進入實際使用。
國內目前只有上海光學精密機械研究所從事上述兩種光學生物傳感器的研發。中科院上海光學精密機械研究所精密光電測控研究與發展中心的主要研究方向是光、機、電、控一體化檢測儀器與設備的研究與開發,主要將光學技術應用于先進制造與檢測、生物醫學、環境保護、國家安全等領域。該中心有兩個具體研究方向,分別為光學生物傳感器及其應用研究,和IC檢測儀器、裝備的研制。
該研究所的光纖生物傳感器已研制成功兩種樣機:FOB-2型多探頭光纖生物傳感器和FOB-3型單探頭光纖生物傳感器,兩種樣機均通過軍事醫學科學院微生物流行病研究所的性能檢測,結果與國外相同種類儀器相當。
UPT生物傳感器已研制成功兩代5臺樣機。以這5臺樣機為研發平臺,軍事醫學科學院微生物流行病研究所等單位針對炭疽桿菌芽孢、鼠疫耶爾森氏菌、腸出血性大腸桿菌O157、SARS-CoV四種重要生物恐怖因子和烈性傳染病病原的五種檢測對象,研制了十種快速檢測試劑,并集成為“生物反恐快速檢測箱”;4月19日,通過國家質檢總局科技司主持的專家鑒定,評價為:“我國口岸反生物恐怖現場快速檢測實現零突破”,目前在現場檢測與推廣中。
上海光學精密機械研究所在光電領域擁有多項自主知識產權,包括已授權的發明和實用新型專利各3項,計算機軟件著作權登記3項。另外,新受理的發明和實用新型專利各2項。
光學生物傳感器的市場前景廣闊,可以應用在生物與爆炸物反恐、口岸檢驗檢疫、環境監測、臨床診斷、生物醫學研究、食品安全等多個領域,是反恐裝備中最重要的生物戰劑識別儀器。目前,我國的口岸檢驗檢疫局共400個,其中省級局35個。我國為鼠疫疫源地,鼠疫監測范圍涉及23個省區260多個疫源縣。研究所目前開發成功5種檢測對象的生物試劑,最多可以開發40多種檢測對象的生物試劑;最終目標是在臨床(醫院、甚至居民小區)推廣應用,正在進行HCG檢測試劑開發。
實現光學生物傳感器產業化需要解決的問題主要有四個方面:1.光纖探頭的形狀優化設計,注塑模具的研制與穩定的注塑工藝的研究,一次性使用,一致和穩定性特別重要;2.改進光學系統,提高熒光激發與接收效率;3.整機一體化設計,減小體積、降低功耗,以可充電電池供電,適合野外/現場檢測;4.生物試劑的研究與開發,開發多種高性能的試劑,擴大檢測對象數量。
目前,研究所在UPT生物傳感器第一、二代原理樣機基礎上,正在加緊研制第三代適合于推廣的實用化樣機。主要研究和改進的內容有改進掃描機構,縮短檢測時間;以微型打印機輸出檢測結果;編制相應的新的控制和分析軟件,簡化操作步驟,減少人工干預,適于普通操作人員使用;提高穩定性與可靠性;降低功耗,以電池供電;生物試劑的研究與開發:開發多種高性能的試劑,擴大檢測對象數量;形成小批量生產能力。
準分子激光器及其應用
準分子激光器的激光波長在紫外到深紫外波段,實用波長為351、308、248、193和157nm。這種高重復率短脈沖的紫外強激光是一種“繡花針”式的工具,往往具有其他激光無法替代的作用,如在眼科設備和半導體光刻設備中的應用。其特點有波長短衍射極限小,適合細微加工;光子能量大,可打斷化學鍵,有冷加工效應;多數材料對紫外吸收強,可以做特殊加工;無需調Q,可直接產生ns量級光脈沖;可實現高重復率運行(kHz)。
國際上準分子激光器的銷售額約為固體激光器的46%,這是一個不可忽略的市場。國內準分子激光產品還在研究所內,產業界尚未介入。國外準分子激光產品起步于上世紀70年代末,實用器件300W,重復率4kHz,激光器的自動控制性能好。國內產品起步于80年代中期,實用器件限于50W以下的激光器,200Hz,自動控制性能不如國外,但是如果有經費支持,國內產品的這種技術集成問題不難解決。
準分子激光器的應用范圍廣泛,具有廣闊的盈利前景。在醫療方面可應用于:以氟化氬(193nm)準分子激光器為手術刀的近視治療設備;以氯化氙(308nm)準分子激光器為輻照源的皮膚治療設備可治療銀屑病(牛皮癬)和白癜風。在科研方面可應用于:準分子激光器(248nm)對單模摻鍺光纖輻照可形成光纖型Bragg光柵,是刻蝕光纖光柵的主要手段。在環保檢測方面可應用于:準分子激光器(248nm)對汽車尾氣進行光電離配質譜儀對排放成分進行實時分析;準分子激光器(308nm)用于差分吸收激光雷達測量大氣臭氧成分。在工業方面可應用于:準分子激光是微電子光刻設備中的主流光源;準分子激光對液晶顯示板的低溫退火使普通玻璃可以做基板,大大降低制造成本;采用波長308nm 300W(1J/300Hz)脈寬25ns激光對柴油機汽缸處理可以減少磨損、降低油耗、改善排放及延長使用壽命。
準分子激光主要技術包括快放電技術和高壓均勻放電技術,對材料的選擇有較嚴格的要求:含鹵素的激光氣體在高電壓下放電,對選材比較苛刻;耐腐蝕、耐高電壓和足夠的機械強度;采用金屬?陶瓷結構以防止鹵素腐蝕;盡可能防止材料中的C元素與F2生產CF4;工作氣體除F2外均要求純度在99.999%以上。
安徽光機所自20世紀80年代初就開始開展了準分子激光器研究,參與了國家“七五”“八五”和“九五”科技攻關任務,研制了從5w到100w的實用型準分子激光器和準分子激光角膜屈光度矯正儀(治療近視)。一共獲得了中國科學院科技進步二等獎3項,三等獎2項,取得了多項專利(包括像“磁脈沖壓縮開關”這樣的關鍵技術)。安徽光機所開展過線寬壓縮、脈沖寬度拉長、非穩腔壓縮發散角和用于高重復率電源的脈沖充電技術(充電時間40微秒)的研究,積累了很多單元技術。同時向國內高校和科研機構提供了約30臺器件(主要用于PLD薄膜材料研究的裝備),在國內有重要的影響。安徽光機所人才資源豐富,目前擁有一支老中青相結合的科技隊伍,包括近期歸國的留學人員和研究生隊伍。正在開展準分子激光器升級的研究工作,為國產器件的輸出穩定、長壽命可靠運行做努力。
在掌握現有準分子激光器技術的基礎上,安徽光機所研制成功的改進型激光器主要在性能上做了以下的改進:使用磁脈沖壓縮開關,增加脈沖能量并延長閘流管使用壽命;增加了功率測試和穩定系統,操作方便;自動配氣,使得配氣更加準確安全方便。
安徽光機所從長遠利益考慮,希望以技術轉讓、技術協作、合作開發、聯合攻關的方式與合作方式在國內建成首個準分子激光器的生產基地,先抓市場需求大的“眼科設備用準分子激光器”或“準分子激光眼科設備”形成良性循環后,再不斷開發準分子激光器的應用。
醫用光電儀器系列產品
生物芯片是隨著人類基因組研究而發展起來的高新技術,是人們在有限空間和實驗條件下高效、大規模地獲取生物信息的有效手段。所謂生物芯片是指在一定尺寸的基片上以點陣方式固定的一系列可尋址的識別分子,點陣中每一個點都可視為傳感器的探頭,然后與標記的樣品分子進行雜交,其結果利用熒光法、酶標法等顯示,再用生物芯片檢測儀器(如激光共聚焦掃描儀、CCD生物芯片檢測儀)記錄,最后通過計算機軟件進行分析而獲取生物信息。
生物芯片可應用于醫院、防疫站、動植物檢驗檢疫局、血站、生物研究所、高等院校等單位,進行疾病診斷,基因表達圖譜、多態性分析及新基因的鑒定,公安部門身份鑒定及親子鑒定,新藥的研究和開發,監測疾病的發生擴散,農林牧漁等產業的品種改良和病蟲防治,海關、商檢部門對進口食品中的轉基因植物、動物及進口產品攜帶微生物的檢測。
生物芯片從誕生到現在只有短短九年時間,但其增長勢頭非常迅猛,每年以65%以上的速度增長,根據前線決策管理咨詢公司和有關專家的最新報道,到2010年,該市場可能上升到600億美元。其市場前景非常誘人。生物芯片的廣泛推廣和應用,除自身技術進步外,生物芯片儀器的發展程度是非常關鍵的影響因素。生物芯片儀器不僅要不斷滿足生物芯片技術進步的要求,而且性能價格比要好。生物芯片的巨大市場前景將給生物芯片儀器帶來無限商機。所以生物芯片儀器的產業化前景廣闊、意義非常重大。
中國科學院光電技術研究所瞄準國際發展趨勢,創新研發的具有自主知識產權的生物芯片檢測儀器系列產品,在一系列關鍵技術上獲得重大突破,初步形成了小批量生產能力,取得了多項國家專利及軟件著作版權。2004年4月中國科學院組織的項目驗收及成果鑒定認為,光電技術研究所研制的生物芯片儀器整體屬國際先進水平,研究成果具有廣闊的市場和應用前景。3~4年后生物芯片將進入臨床,對生物芯片系列儀器的需求將成加速增長態勢,各種生物芯片制備與檢測儀器需求量將大幅度增長。當我國加入WTO后,光電所生產的高檔生物芯片檢測儀器將憑借自身的特色技術和專用分析軟件,在國內市場上仍能具有較強的競爭力,而中低檔產品還可以更好地進軍國際市場。
光電研究所研制的URE-2000系列深層單面和雙面i線深層光刻機,已有5種型號的產品,取得20余項專利技術,已向國內50多家軍品、民品器件的研制和生產單位提供高性能的成套光刻設備,累計銷售額已達1000余萬元,部分深層單面光刻機還出口新加坡和朝鮮等國,開創我國光刻設備出口的先例。深層光刻機可用于生產和研制集成電路、MEMS器件、紅外器件、GaAs器件、聲表器件、微光學元件、生物電泳芯片等;大面積的深層光刻機還可用于液晶顯示器、材料研究,其應用領域十分廣泛。隨著深層光刻機的性能不斷完善和新品的不斷研發,除在集成電路、MEMS器件、紅外器件、GaAs器件、聲表器件、微光學元件、液晶顯示器等領域還能進一步挖潛應用潛力外,在基因芯片原位合成、生物電泳芯片曝光、精密碼盤刻劃、激光整形光柵加工等有廣泛的應用前景。
醫用光電儀器系列是醫院用于臨床手術必備的專用設備,全國有各類衛生醫療機構20多萬家,各醫院為自身的建設和升級發展,設備的更新換代、添置是必不可少的。因此,國內醫用光電儀器行業的市場前景巨大,蘊藏著豐富的商機。此外,國外的市場也在逐漸形成,如中東地區、南亞地區、非洲地區等對此類儀器的需求量很大,其市場前景不可估量。
光電研究所研制的ASOM系列手術顯微鏡采用高分辨率、高清晰度光學系統,具有成像清晰、體視感強、景深大、視場亮度好、色彩還原性好等特點。具有1∶6連續變倍系統,冷光源雙光纖同軸照明系統,自動限位報警及回零裝置,腳控自動三維直線微動裝置,電動和手動連續變倍,并具有同軸主副手目視觀察系統、電視、錄像照相及圖像處理系統。采用模塊式組合與切換,一機多用,適用于眼科、腦外科、耳鼻喉科、骨科、胸外科、整形外科等各種顯微外科手術和教學演示。
隨著我國人工晶體制造技術和人工晶體植入手術治療白內障技術的日趨成熟,以及角膜輻射切開治療近視眼,神經顯微外科等手術的日趨普及,對高檔手術顯微鏡的需求日益迫切;在眼科醫療水平不斷提高的情況下,裂隙燈顯微鏡在診斷方面有著廣泛而重要的應用。
LX系列裂隙燈顯微鏡是繼手術顯微鏡之后,由中科院光電所為主研單位,瞄準國際上世紀九十年代末期同類設備先進水平,研制開發的一種光機電一體化程度較高的眼科用診斷醫療光學儀器。擁有先進的光學性能。多層鍍膜技術確保更多的光線有效透過系統;高分辨率、出色景深和強立體感的連續變倍體視系統令觀察輕松自如;專業的照明系統設計提供優秀明亮的照明,給眼科檢查帶來準確的診斷。