日前，由上海交通大學(xué)承擔(dān)的“準(zhǔn)LIGA技術(shù)及其應(yīng)用研究”課題取得突破。該課題組開發(fā)出了三種多層復(fù)雜三維微結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)LIGA技術(shù)新工藝，獲得了含有三層微結(jié)構(gòu)、總厚度大于1.4 mm的異型紡絲噴嘴。通過對該三種工藝的優(yōu)缺點進行比較，得出了三種工藝的應(yīng)用范圍。應(yīng)用準(zhǔn)LIGA技術(shù)多層復(fù)雜三維微結(jié)構(gòu)加工工藝制備出了異型紡絲噴嘴、鎳雙層微齒輪模具和集成探卡；應(yīng)用準(zhǔn)LIGA技術(shù)可動微結(jié)構(gòu)一體化加工工藝制備出了菲涅爾透鏡和光衰減器，應(yīng)用于光學(xué)平臺中。 準(zhǔn)LIGA技術(shù)采用厚膠紫外光刻、模具電鑄和微復(fù)制工藝制備高深寬比金屬和塑料微結(jié)構(gòu)，具有成本低、批量大和重復(fù)性好等優(yōu)點，國內(nèi)外多家研究機構(gòu)在此技術(shù)上都投入了大量精力。該課題組已申請國家發(fā)明專利2項，發(fā)表或被錄用論文6篇，并用準(zhǔn)LIGA技術(shù)為國內(nèi)多家單位進行了MEMS器件的研發(fā)。MEMS慣性開關(guān)是一種具有重要應(yīng)用前景的微執(zhí)行器，課題組對MEMS慣性開關(guān)及其相關(guān)器件進行了設(shè)計、加工和性能測試，用有限元分析軟件對MEMS慣性開關(guān)中的微彈簧的形狀和幾何參數(shù)進行了優(yōu)化，開發(fā)出用于微彈簧力學(xué)性能測試的裝置，研制出了MEMS慣性開關(guān)原理樣機。