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近日，由國家發(fā)展改革委支持建設(shè)的“集成電路裝備專用高精密溫度控制系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化”項目完成驗收。
該項目由上海微電子裝備有限公司承擔(dān)建設(shè)，研制了高精度溫度控制系統(tǒng)試驗平臺，形成了溫度控制系統(tǒng)的批量生產(chǎn)能力，獲專利授權(quán)12項、軟件著作權(quán)3項。
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