6月28日，科技部組織專(zhuān)家在上海召開(kāi)了國(guó)家科技支撐計(jì)劃“IC關(guān)鍵裝備性能檢測(cè)系統(tǒng)研制及制程技術(shù)開(kāi)發(fā)”項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)議。

      該項(xiàng)目完成了成像質(zhì)量專(zhuān)用離線檢測(cè)系統(tǒng)和成像質(zhì)量專(zhuān)用原位檢測(cè)與測(cè)校系統(tǒng)的研發(fā)，并進(jìn)行了曝光系統(tǒng)性能優(yōu)化；完成了12英寸刻蝕反應(yīng)室優(yōu)化及工藝開(kāi)發(fā)、8英寸設(shè)備生產(chǎn)線穩(wěn)定性技術(shù)開(kāi)發(fā)及全流程產(chǎn)品驗(yàn)證；完成了中束流離子注入機(jī)的束線系統(tǒng)優(yōu)化、離子束流品質(zhì)檢測(cè)及控制系統(tǒng)研制、離子注入工藝穩(wěn)定性一致性研究等工作，初步建立了中束流離子注入工藝參數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)。項(xiàng)目在光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)檢測(cè)及工藝研發(fā)等方面取得相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)突破，為國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)相關(guān)項(xiàng)目的實(shí)施提供了重要支撐。

      驗(yàn)收專(zhuān)家組經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)考察、質(zhì)詢(xún)和討論后一致同意通過(guò)驗(yàn)收。