《微、納米功能薄膜分析方法研究及其國家標準制訂》項目通過驗收
發布時間：2016-01-04
作者：
來源：上海市計測院
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近日，由上海市計測院承擔的上海市質量技術監督局科研項目《微、納米功能薄膜分析方法研究及其國家標準制訂》（項目編號：2013-49）順利通過專家驗收。
微、納米功能薄膜材料在戰略性新興產業中扮演非常重要的角色，已被廣泛應用于太陽能電池、集成電路、半導體存儲器件、氣體傳感器等領域。而針對薄膜開展測量方法研究也是確保產品質量，改進生產工藝，以及查找產品失效原因的基礎。項目組結合當前微、納米薄膜測量研究難點，開展了利用輝光放電發射光譜分析金屬氧化物膜的方法研究，完成了《表面化學分析輝光放電發射光譜 金屬氧化物膜的分析》國家標準制訂。該標準的制訂為功能薄膜的測量提供可依靠的標準方法，也為相關薄膜測量儀器的研制以及薄膜測量結果的一致性提供技術支持，填補了我國在利用輝光放電發射光譜分析金屬氧化物膜標準方法的空白。項目組圍繞項目研究內容發表研究論文3篇，制定國家標準1項。項目研究成果得到驗收專家的一致認可。
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