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近日，浙江省計量院“掃描探針顯微鏡校準裝置”通過了專家組現(xiàn)場考核，建立了省內(nèi)首個納米計量領(lǐng)域社會公用計量標準。
目前，浙江省計量院已具備微納幾何結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸的計量校準能力，可為半導(dǎo)體企業(yè)、精密加工中心的關(guān)鍵尺寸測量提供量值溯源至國家基準的途徑，更加全面準確地為半導(dǎo)體、微電子行業(yè)的納米尺度關(guān)鍵尺寸檢測提供技術(shù)保障。
近年來，浙江省計量院為了加強質(zhì)量技術(shù)基礎(chǔ)及體系建立, 服務(wù)我省經(jīng)濟轉(zhuǎn)型升級，圍繞“三強一制造”中心工作，不斷在高端裝備、醫(yī)療衛(wèi)生、大氣治理、新材料等領(lǐng)域建立社會公用計量標準，滿足新產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域發(fā)展的需要。
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