列入國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃（863計(jì)劃）的“耐高溫壓力傳感器”經(jīng)過(guò)四年艱苦攻關(guān)，最近在西安交大研制成功。我國(guó)高溫壓力傳感器產(chǎn)品長(zhǎng)期依賴進(jìn)口的局面從此將徹底改變。 　　耐高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于航空航天、石油化工、汽車(chē)等領(lǐng)域高溫環(huán)境下的壓力測(cè)量。如測(cè)量航空航天發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒室在啟動(dòng)、停車(chē)、不穩(wěn)定燃燒期間的各種瞬變壓強(qiáng)，從而掌握燃燒室壓強(qiáng)變化規(guī)律，為設(shè)計(jì)和評(píng)價(jià)發(fā)動(dòng)機(jī)提供依據(jù)；測(cè)量石油化工領(lǐng)域各種反應(yīng)釜、冶煉塔、采油井下的壓力，為安全生產(chǎn)、提高石油產(chǎn)量提供判據(jù)；測(cè)量能源動(dòng)力、軍用火工品、汽車(chē)工業(yè)等在特種環(huán)境下的壓力等。這些領(lǐng)域?qū)δ透邷貕毫鞲衅鞯哪晷枨罂偭考s為4萬(wàn)只，隨著國(guó) 民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防現(xiàn)代化的發(fā)展，高溫壓力傳感器的市場(chǎng)需求將以每年10%～32%的速率遞增。而常規(guī)的硅壓力傳感器只能在120℃以下進(jìn)行壓力測(cè)量，超過(guò)120℃時(shí)，傳感器的性能會(huì)嚴(yán)重惡化以至失效，當(dāng)傳感器遇到被測(cè)流體大于1000℃瞬時(shí)高溫沖擊時(shí)，敏感元件就會(huì)被燒壞，導(dǎo)致信號(hào)處理系統(tǒng)和電路失調(diào)。長(zhǎng)期以來(lái)，美國(guó)、瑞士、英國(guó)等國(guó)外公司的耐高溫壓力傳感器產(chǎn)品壟斷了國(guó)際市場(chǎng)，我國(guó)高溫壓力傳感器產(chǎn)品主要依賴進(jìn)口， 一直受制于人。 　　研制我國(guó)有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的耐高溫壓力傳感器列入國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃后，西安交大蔣莊德教授率領(lǐng)課題組歷時(shí)4年努力，終于完成了這一高科技攻關(guān)項(xiàng)目。教育部日前組織專家對(duì)這一項(xiàng)目進(jìn)行科技成果鑒定后認(rèn)為，西安交大精密工程研究所利用MEMS(微型機(jī)械電子系統(tǒng))技術(shù)，研制出的硅隔離耐高溫微型壓力傳感器，能在-30℃～250℃環(huán)境下進(jìn)行壓力測(cè)量，可完成1000MPa以下任意量程范圍的壓力測(cè)量， 能承受2000℃瞬時(shí)高溫沖擊。該項(xiàng)目屬國(guó)內(nèi)首創(chuàng)，有效解決了我國(guó)航空航天、石油化工、汽車(chē)工業(yè)等領(lǐng)域高溫環(huán)境下壓力測(cè)量的技術(shù)難題，解決了瞬時(shí)高溫沖擊下傳感器失效的難題，打破了國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品對(duì)我國(guó)傳感器市場(chǎng)的壟斷，提升了我國(guó)這一行業(yè)的整體水平和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)能力，具有很高的推廣和使用價(jià)值。 　　在該項(xiàng)目科技成果鑒定會(huì)上，以邱愛(ài)慈院士為主任的鑒定委員會(huì)認(rèn)真聽(tīng)取了課題組的技術(shù)研究報(bào)告、審查了查新報(bào)告、測(cè)試報(bào)告和用戶使用報(bào)告等相關(guān)材料，現(xiàn)場(chǎng)考察了耐高溫壓力傳感器產(chǎn)品和生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)，通過(guò)討論和質(zhì)疑，專家認(rèn)為該產(chǎn)品采用高能氧離子注入技術(shù)制作二氧化硅隔離層，將檢測(cè)電路與基底隔離開(kāi)，避免高溫下檢測(cè)電路與基底之間的漏電流問(wèn)題，解決了常規(guī)硅壓力傳感器120℃產(chǎn)生失效的技術(shù)難題；該產(chǎn)品將被測(cè)高溫流體與硅敏感元件相隔離， 避免了被測(cè)流體的瞬時(shí)高溫沖擊，解決了2000℃瞬時(shí)高溫沖擊的難題；采用鈦-鉑-金耐高溫布線系統(tǒng)，解決了高溫等惡劣環(huán)境下傳感器引線的技術(shù)難題。專家認(rèn)為，該項(xiàng)目性能指標(biāo)和總體水平達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，在敏感元件集成設(shè)計(jì)和傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等方面達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。 　　據(jù)業(yè)界人士介紹，西安交大研制的耐高溫壓力傳感器可滿足高溫、高壓、高頻響及 瞬時(shí)高溫沖擊等惡劣環(huán)境下的壓力測(cè)量，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在此領(lǐng)域的多項(xiàng)空白 ，促進(jìn)了我國(guó)航空航天、石油化工，汽車(chē)工業(yè)等領(lǐng)域的工業(yè)自動(dòng)化進(jìn)程；進(jìn)一步的后續(xù)開(kāi)發(fā)， 還可生產(chǎn)變送器和與之配套的二次儀表產(chǎn)品，對(duì)于推動(dòng)我國(guó)儀器儀表工業(yè)的發(fā)展，培養(yǎng)新的經(jīng) 濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)具有重要意義。 　　西安交大研制的耐高溫壓力傳感器經(jīng)在在航空618研究所、航天210所及西安宏邦石油儀器有限責(zé)任公司等單位投入試用表明，該產(chǎn)品成本低、性能穩(wěn)定可靠、工藝兼容性好、體積小、靈敏度高，不僅在靜態(tài)精度、耐高溫工作能力及動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力等技術(shù)指標(biāo)上可與國(guó)外同類(lèi)先進(jìn)產(chǎn)品媲美，而且在耐瞬時(shí)高溫沖擊、工作量程等性能指標(biāo)上有獨(dú)到之處，有效解決了長(zhǎng)期困擾企業(yè)的高溫下進(jìn)行壓力測(cè)量的難題。