中科院理化技術(shù)研究所承擔(dān)的院儀器研制項(xiàng)目“納米光子學(xué)超細(xì)微加工系統(tǒng)”近日通過(guò)中科院綜合計(jì)劃局組織的專(zhuān)家驗(yàn)收。現(xiàn)場(chǎng)加工測(cè)試結(jié)果表明，所研制的納米光子學(xué)超細(xì)微加工系統(tǒng)最小加工分辨率小于80納米，加工定位精度達(dá)到10納米，最大加工范圍達(dá)到560微米，具備了良好的三維加工能力。專(zhuān)家組認(rèn)為，該項(xiàng)目按照項(xiàng)目合同的要求，全面完成了合同任務(wù)書(shū)規(guī)定的各項(xiàng)任務(wù)，技術(shù)指標(biāo)先進(jìn)。這種可同時(shí)具有納米尺度的加工分辨率和較大尺度范圍的激光加工系統(tǒng)尚未見(jiàn)報(bào)道，具有創(chuàng)新性。在加工速度、范圍及精度方面處于國(guó)際先進(jìn)水平。 與以金屬材料、半導(dǎo)體材料、無(wú)機(jī)非金屬材料為代表的功能性硬 物質(zhì)材料相比較，以有機(jī)高分子材料、無(wú)機(jī)－有機(jī)復(fù)合材料、生物材 料為代表的功能性軟物質(zhì)材料具有可設(shè)計(jì)的特異光學(xué)、電子學(xué)、磁學(xué) 等方面的特性及其功能的多樣性、可調(diào)諧性，可望在包括信息、生物 等方面的各種功能性器件中得到應(yīng)用。與硬物質(zhì)材料相比較，軟物質(zhì) 在可加工性方面、特別是微尺度三維精細(xì)加工的可能性方面具有優(yōu)勢(shì) ，為此，要實(shí)現(xiàn)功能性軟物質(zhì)器件的特色與優(yōu)勢(shì)，具有三維結(jié)構(gòu)的功 能性軟物質(zhì)器件是最有希望的突破口。本項(xiàng)目的研制成功，為在納米 尺度上開(kāi)展以有機(jī)高分子光電功能材料為主的三維器件的研究建立了 高水平的技術(shù)平臺(tái)。 納米光子學(xué)超細(xì)微加工系統(tǒng)是理化所段宣明研究員負(fù)責(zé)完成的。 他領(lǐng)導(dǎo)的有機(jī)納米光子學(xué)研究組已成功制備了二氧化鈦、硫化鎘高分 子納米復(fù)合材料的三維光子晶體，觀測(cè)到其光子晶體帶隙，并在光子 晶體激光器的激射行為研究方面獲得進(jìn)展，為微納尺度光子學(xué)器件研 究打下了較好的基礎(chǔ)。