制造領(lǐng)域幾乎所有的創(chuàng)新和技術(shù)進(jìn)步都離不開(kāi)納米技術(shù)，而納米計(jì)量不僅是測(cè)量和表征納米尺度器件的基礎(chǔ)，也是微電子、微機(jī)械、超精密加工、納米醫(yī)學(xué)、納米生物學(xué)等領(lǐng)域中不可回避的關(guān)鍵科學(xué)與技術(shù)問(wèn)題。記者今天從浙江省計(jì)量科學(xué)研究院獲悉，日前，該院“掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)裝置”通過(guò)了專家組現(xiàn)場(chǎng)考核，建立了省內(nèi)首個(gè)納米計(jì)量領(lǐng)域社會(huì)公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)。

    “中國(guó)是世界納米科技大國(guó)，構(gòu)建了龐大的納米制造研發(fā)和生產(chǎn)體系，擁有數(shù)十萬(wàn)臺(tái)納米測(cè)量?jī)x器。但是納米計(jì)量技術(shù)、測(cè)試儀器和傳遞標(biāo)準(zhǔn)卻相對(duì)較少，制約了我國(guó)納米制造技術(shù)和相關(guān)行業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。”據(jù)浙江省計(jì)量科學(xué)研究院長(zhǎng)度與光學(xué)計(jì)量研究所副所長(zhǎng)茅振華介紹，目前，在國(guó)家計(jì)量基標(biāo)準(zhǔn)資源共享平臺(tái)項(xiàng)目“微納計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)在華東地區(qū)的專題服務(wù)”的支持下,經(jīng)過(guò)兩年多的研究,該院已基本具備微納幾何結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸的計(jì)量校準(zhǔn)能力，建立了我省的納米計(jì)量量值傳遞的社會(huì)公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，可為半導(dǎo)體企業(yè)、精密加工中心的關(guān)鍵尺寸測(cè)量提供量值溯源至國(guó)家基準(zhǔn)的途徑，更加全面準(zhǔn)確地為半導(dǎo)體、微電子行業(yè)的納米尺度關(guān)鍵尺寸檢測(cè)提供技術(shù)保障。

    目前，浙江省計(jì)量科學(xué)研究院的掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)裝置由5個(gè)納米臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板構(gòu)成，標(biāo)稱值分別為50nm、100nm、200nm、500nm、1000nm，相對(duì)不確定度為Urel=2.8％～0.6％(k=2)，標(biāo)準(zhǔn)樣板均由納米幾何結(jié)構(gòu)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)裝置進(jìn)行絕對(duì)法定值，定值結(jié)果可直接溯源至激光波長(zhǎng)國(guó)家基準(zhǔn)。該校準(zhǔn)裝置已經(jīng)達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平，能夠校準(zhǔn)如掃描探針顯微鏡(SPM)、原子力顯微鏡(AFM)、臺(tái)階儀、輪廓儀等多種微納米級(jí)測(cè)量?jī)x器。