近日，中國計量測試學(xué)會收到中國科協(xié)的感謝信，信中對學(xué)會在2020年重大科學(xué)技術(shù)問題和工程技術(shù)難題遴選推薦工作中，積極有效組織計量測試相關(guān)專家撰寫重大問題的政策建議表示衷心感謝！

2020年8月15日，中國科協(xié)在第二十二屆中國科協(xié)年會上，對外發(fā)布了20項2020年前沿重大科學(xué)問題和工程技術(shù)難題，其中，中國計量測試學(xué)會推薦的“如何解決集成電路制造工藝中缺陷在線檢測難題”位列其中。

作為中國科協(xié)所屬學(xué)會，今后，中國計量測試學(xué)會將一如既往與中國科協(xié)一道，深入貫徹習(xí)近平總書記關(guān)于科技創(chuàng)新的系列指示精神，發(fā)揮學(xué)會的資源優(yōu)勢、平臺優(yōu)勢和技術(shù)優(yōu)勢，提升學(xué)術(shù)引領(lǐng)能力，為推動社會可持續(xù)發(fā)展、建設(shè)世界科技強國做出積極的貢獻。

“如何解決集成電路制造工藝中缺陷在線檢測難題”介紹

在上一代國家集成電路制造02專項中，缺陷在線檢測設(shè)備的研發(fā)投入相對較少，我國在該領(lǐng)域存在明顯短板，設(shè)備水平遠落后于發(fā)達國家，因此，缺陷檢測設(shè)備是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中最薄弱的環(huán)節(jié)之一，研發(fā)集成電路高靈敏度缺陷在線檢測技術(shù)與裝備迫在眉睫。

集成電路領(lǐng)域目前是國際科技競爭的主戰(zhàn)場和大國博弈焦點。對于集成電路缺陷檢測技術(shù)及設(shè)備，一方面現(xiàn)有最先進技術(shù)設(shè)備被少數(shù)幾個發(fā)達國家壟斷，對我國技術(shù)封鎖；另一方面，世界范圍內(nèi)7納米及以下節(jié)點的缺陷在線檢測技術(shù)仍未成熟，設(shè)備缺口仍然巨大，誰率先掌握了相應(yīng)關(guān)鍵技術(shù)，誰就掌握了未來主導(dǎo)權(quán)，這對我國來說既是機遇又是挑戰(zhàn)。因此，突破下一代節(jié)點集成電路制造缺陷在線檢測技術(shù)，不但可以打破以美國為首的技術(shù)封鎖，解決“卡脖子”問題，還將提升我國制造業(yè)整體水平，為交叉領(lǐng)域科技發(fā)展產(chǎn)生重大影響力和引領(lǐng)推動作用，同時帶來巨大經(jīng)濟效應(yīng)和國際影響力，占領(lǐng)國際競爭至高點。